|
페스토(Festo)는 정밀하고 빠른 응답 시간 및 동적 제어를 제공하는 최초의 비례 밸브 터미널을 제공한다. VTEP 터미널은 1 밀리바 미만의 매우 민감한 압력 제어를 제공하며 정밀 피에조 밸브를 사용하여 압축 공기 소비를 절반으로 줄일 수 있다.
폭이 120 mm 미만인 이 제품은 10개의 작동 채널을 갖춘 압력 제어용 비례 단자 중 가장 작은 크기이다. 2, 3 또는 5 방향 버전으로 제공되며 다중 채널 애플리케이션에 통합할 수 있다. 압력 및 진공은 6바 제어 범위에서 결합할 수 있다. VTEP의 피에조 기술은 입자 마모나 열 발생 없이 조용하고 마모 없이 작동한다. 또한 단자에는 구리, 니켈, 아연이 포함되어 있지 않아 민감한 애플리케이션에 적합하다. 배터리 포일 생산과 같은 작업을 위한 웹 제어에 사용할 수 있다. 거의 실시간으로 통신하며 밸브가 매우 빠르게 반응하여 공정 안정성을 향상시킨다.
이 터미널은 생산 속도를 높이고 제조품의 품질을 향상시키는 것으로 알려져 있다. 예를 들어 반도체 웨이퍼를 만들 때 비례 기술과 센서 및 제어 알고리즘을 결합하여 제어 루프를 만드는 Festo의 제어 공압 기술을 사용하여 개별 폴리싱 챔버의 가변 접촉 압력을 정밀하게 제어할 수 있다. 균일한 압력은 섬세한 웨이퍼 연마 시에도 전체 웨이퍼 가공 표면에서 우수한 성능을 발휘한다. VTEP 단자는 미디어 밸브의 파일럿 밸브로도 사용할 수 있다. 예를 들어 포토리소그래피에서는 내광층을 웨이퍼에 정밀하게 도포해야 한다. VTEP로 제어되는 빨아들이기 기능은 과도한 페인트가 빠져나가지 않도록 보장한다.
페스토는 제어 공압이 압력, 유량, 이동 측면에서 공압의 새로운 응용 분야를 개척하고 기존 생산을 더욱 효율적으로 만들 것으로 예상한다. 폐쇄 루프 제어 시스템은 몇 가지 매개변수만 입력하면 구현할 수 있다.
|
