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훼스토는 제어식 공압 솔루션 제품군에 최신 제품인 VEFC 질량 유량 컨트롤러를 출시했다. VEFC는 최대 200 l/min의 불활성 가스 유량을 정밀하게 제어할 수 있으며, 폭이 24 mm에 불과한 시중에서 가장 컴팩트한 질량 유량 컨트롤러 중 하나이다. 모든 콘트롤드 뉴매틱스 솔루션과 마찬가지로 VEFC는 에너지 효율적인 압전 밸브 기술과 제어 알고리즘 및 센서가 통합되어 히스테리시스 없이 사전 설정된 설정값으로 동적 유량 또는 압력을 제어할 수 있는 것이 특징이다.
VEFC 설정값은 아날로그 입력을 통해 밀리초 단위로 설정할 수 있다. 애플리케이션 설정값을 입력하면 VEFC 질량 유량 컨트롤러가 자동으로 설정값을 유지한다. 설정 포인트는 변조 방지 기능이 있다. 유량은 차압 방식을 사용하여 측정된다.
VEFC는 유량과 출력 압력을 지속적으로 모니터링하기 때문에 제어 시스템을 통해 실시간 작동 데이터를 사용할 수 있다. 압전 기술 덕분에 VEFC는 작고 유연하며 뛰어난 가격 대비 성능을 제공한다.
VEFC는 전자 제품 제조, 식품 생산 및 불활성 가스가 필요한 모든 기계 설비에서 사용할 수 있도록 설계되었다. 예를 들어, 반도체 산업에서는 실리콘 웨이퍼 품질을 유지하기 위해 질소 제어가 특히 중요하다. 로드 포트에 VEFC를 설치하면 사전 블로잉, 사전 퍼지, 공정 퍼지 및 사후 퍼지 등 개별 퍼지 단계에서 설정값을 통해 다양한 유량을 제어할 수 있다. 최적의 질소 사용으로 에너지를 절약하여 비용과 탄소 배출을 줄인다.
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